García Molleja J, Gómez BJ. Estudio de Películas Delgadas Cristalinas de TiN Crecidas Mediante Sputtering por Magnetrón en Modo Reactivo. Rev. Politéc. [Internet]. 30 de septiembre de 2015 [citado 20 de abril de 2024];36(1):94. Disponible en: https://revistapolitecnica.epn.edu.ec/ojs2/index.php/revista_politecnica2/article/view/463